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申请/专利权人：香港科技大学
摘要：一种用于图案化气相沉积的波纹状荫罩100，包括处于拉应力下的波纹膜110，该波纹膜具有多个通孔112，形成孔阵列，汽化的沉积材料可以穿过该孔阵列。通孔112位于波纹113的顶点并且从围绕通孔的膜表面110a,110b突出。该荫罩100特别适合于形成OLED显示器的像素阵列，而不会发生相邻像素321‑323的颜色混合。
主权项：1.一种用于图案化气相沉积的荫罩，包括：具有包括多个周期性波纹的中心膜区域的波纹膜，该膜包括基膜平面，其中每个波纹具有突出到周围基膜平面之外的顶点，每个顶点包括通孔，周期性波纹具有顶点通孔-孔在波纹膜中心区域中形成孔阵列，汽化的沉积材料可以通过该孔阵列；和围绕中心膜区域的外围膜区域，其包括附接到外围膜区域的后表面的外围支撑件，并且在中心膜区域下方具有中空部分。
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