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申请/专利权人：湖南大学
摘要：本发明公开了一种声表面波传感器在DMMP气体检测中的应用，属于气体传感器技术领域，用于检测DMMP气体并在室温下便能够对DMMP气体具有优异的传感性能，所述声表面波传感器包括铌酸锂衬底、设置于所述铌酸锂衬底上的两个平行且间隔设置的叉指换能器以及涂覆于所述铌酸锂衬底上并位于两个所述叉指换能器之间的还原氧化石墨烯二硫化锡敏感层。本发明还公开了一种基于还原氧化石墨烯二硫化锡的声表面波传感器制备方法。本发明可以显著提高声表面波DMMP传感器的灵敏度，并有效降低检测限，具有良好的应用前景。
主权项：1.一种声表面波传感器在DMMP气体检测中的应用，其特征在于，所述声表面波传感器包括铌酸锂衬底、设置于所述铌酸锂衬底上的两个平行且间隔设置的叉指换能器以及涂覆于所述铌酸锂衬底上并位于两个所述叉指换能器之间的还原氧化石墨烯二硫化锡敏感层；所述声表面波传感器具体通过以下方法制备：步骤1，采用光刻、蒸发和剥离工艺，在铌酸锂衬底上制备叉指换能器，形成声表面波器件；步骤2，将五水合四氯化锡、L-半胱氨酸以及还原氧化石墨烯溶于无水乙醇中得到分散液，将所述分散液在室温下以一定功率超声一段时间，并进行搅拌后，得到混合溶液；步骤3，将所述混合溶液转移到烘箱中，恒温加热一段时间，得到还原氧化石墨烯二硫化锡初始样品；步骤4，将所述还原氧化石墨烯二硫化锡初始样品用无水乙醇和去离子水交替离心分离，然后在室温下干燥，得到还原氧化石墨烯二硫化锡材料，所述还原氧化石墨烯二硫化锡材料呈现出灌木状结构；步骤5，将所述还原氧化石墨烯二硫化锡材料，与去离子水混合，得到还原氧化石墨烯二硫化锡溶液；步骤6，采用滴铸法，将所述还原氧化石墨烯二硫化锡溶液滴在所述铌酸锂衬底上两个所述叉指换能器之间的区域，在一定温度下干燥一段时间，后置于室温稳定后，得到基于还原氧化石墨烯二硫化锡的声表面波传感器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南大学 一种声表面波传感器在DMMP气体检测中的应用
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