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浮起支撑装置及外观检查装置 

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申请/专利权人:尼得科仪器株式会社

摘要:本发明提供一种将具有挠性的片状介质在浮起的状态下固定于规定位置的浮起支撑装置及外观检查装置。浮起支撑装置6具有:非接触吸附盘8,其将具有挠性的片状介质2维持在从多孔质板31浮起规定距离H的状态;以及吸附固定机构9,其固定在非接触吸附盘8的不与多孔质板重叠的位置。吸附固定机构具备:吸附用部件42,其具备吸附面41,该吸附面具有多个吸气口42a;空气流路45,其与多个吸气口连通;以及吸气机构46,其与空气流路连接。吸附面与多孔质板平行,位于距多孔质板规定距离H的上方。当吸气机构46被驱动时,从吸气口吸引空气,介质的一部分被吸附面41吸附。

主权项:1.一种浮起支撑装置,其特征在于,具有:非接触吸附盘,该非接触吸附盘将具有挠性的片状介质维持在从多孔质板浮起规定距离的状态;以及吸附固定机构,该吸附固定机构固定于所述非接触吸附盘的不与所述多孔质板重叠的位置,所述吸附固定机构具备:吸附用部件,该吸附用部件具备吸附面,该吸附面具有多个吸气口;空气流路,该空气流路与多个所述吸气口连通;以及吸气机构,该吸气机构与所述空气流路连接,所述吸附面与所述多孔质板平行,且位于从所述多孔质板向上方离开规定距离的位置,当所述吸气机构被驱动时,从所述吸气口吸引空气,所述介质的一部分被所述吸附面吸附。

全文数据:

权利要求:

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