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摘要：本发明公开了一种LT与LN来料裸片涂布工艺。本发明工艺通过NMP浸泡产生化学反应，改变LTLN表面的性质，提高片子洁净度，减小水滴角，提升旋涂涂胶时对胶的附着力，再通过剥离清洗，使其表面保持干净、干燥，既能解决LT与LN来料裸片旋涂涂胶时涂不满的现象，又能充分提高产品质量和良率。
主权项：1.一种LT与LN来料裸片涂布工艺，其特征是，其工艺步骤为：S1、将LT与LN来料裸片放入去胶机内浸泡槽卡槽内用NMP进行一段时间的浸泡；S2、浸泡结束后，将LT与LN来料裸片输送至剥离腔，在剥离腔中用NMP对LT与LN来料裸片的表面进行剥离，去除表面残留物；S3、将完成步骤S2的LT与LN来料裸片传送至清洗腔，在清洗腔中用IPA与N2通过喷嘴进行冲洗和喷吹，冲洗完成后继续使用DIW通过喷嘴进行冲洗，将表面的NMP残液去除干净；S4、将完成步骤S3的LT与LN来料裸片甩干，并通过旋涂工艺对LT与LN来料裸片进行旋涂，完成整个LT与LN来料裸片涂布工艺。
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百度查询： 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 一种LT与LN来料裸片涂布工艺
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