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申请/专利权人：华虹半导体(无锡)有限公司
摘要：本发明提供一种改善化镀表面色差的方法，提供衬底，所述衬底上形成有铝焊垫，利用等离子体轰击所述铝焊垫的表面，以提高所述铝焊垫表面的亲水性；在所述铝焊垫表面形成锌层；利用化学镀工艺在所述锌层表面镀上预定层数的目标金属。本发明在进入化镀工艺前增加等离子气体处理工艺，将铝焊垫表面由疏水性改为亲水性，能够提高化镀过程药液反应的交互能力，减少化镀后色差异常的形成。
主权项：1.一种改善化镀表面色差的方法，其特征在于，至少包括：步骤一、提供衬底，所述衬底上形成有铝焊垫，利用等离子体轰击所述铝焊垫的表面，以提高所述铝焊垫表面的亲水性；步骤二、在所述铝焊垫表面形成锌层；步骤三、利用化学镀工艺在所述锌层表面镀上预定层数的目标金属。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华虹半导体(无锡)有限公司 改善化镀表面色差的方法
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