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申请/专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日：2020-05-18
公开（公告）日：2024-01-19
公开（公告）号：CN111482333B
专利技术分类：.对特殊物品[2006.01]
专利摘要：本申请提供了提拉涂膜夹具、提拉涂膜设备及提拉涂膜方法，涉及化学膜制备技术领域。一种提拉涂膜夹具，包括主体、密封圈和两个压杆。主体具有凹槽和围设于凹槽四周的平台，平台用于放置待涂膜元件。密封圈围设于凹槽的四周且与平台密封连接。两个压杆能够分别与凹槽两侧的平台可拆卸连接，以将放置于平台上的待涂膜元件紧贴与密封圈。该提拉涂膜夹具对元件采用两侧夹持，不在元件顶部和底部有任何高出元件表面的夹持，避免影响元件表面膜层的均匀性。采用凹槽和密封圈的配合，实现大口径高径厚比元件的单面密封，能够实现对大口径高径厚比元件的两个不同表面制备不同的化学膜。
专利权项：1.一种提拉涂膜方法，其特征在于，采用提拉涂膜夹具，所述提拉涂膜夹具包括：主体，所述主体具有凹槽和围设于所述凹槽四周的平台，所述平台用于放置待涂膜元件；密封圈，所述密封圈围设于所述凹槽的四周且与所述平台密封连接；以及两个压杆，所述两个压杆能够分别与所述凹槽两侧的平台可拆卸连接，所述两个压杆被配置为作用于待涂膜元件的两个侧边且与所述平台连接，以将放置于所述平台上的待涂膜元件紧贴于所述密封圈；所述方法包括：将所述密封圈固定在所述平台上，所述平台具有顶部、底部以及两侧，所述两个压杆分别与所述平台的两侧连接；所述平台的底部具有用于保护所述待涂膜元件的保护台的提拉涂膜夹具，且所述保护台的高度小于所述待涂膜元件的厚度，使所述待涂膜元件放置在所述平台上时，所述保护台未凸出于所述待涂膜元件的表面；将所述待涂膜元件放置在所述平台上使所述待涂膜元件与所述密封圈完全接触，将所述两个压杆分别压在所述待涂膜元件的相对的两个侧边，并将所述两个压杆与所述平台连接，以将所述待涂膜元件固定在所述压杆与所述平台之间；将所述提拉涂膜夹具提起使所述压杆垂直于涂膜液的液面，将所述提拉涂膜夹具沿所述压杆的长度方向浸入所述涂膜液中，再拉出，静置至所述待涂膜元件表面形成膜层。
百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 提拉涂膜夹具、提拉涂膜设备及提拉涂膜方法
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