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申请/专利权人:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日:2020-05-18
公开(公告)日:2020-08-04
公开(公告)号:CN111482333A
专利技术分类:.对特殊物品[2006.01]
专利摘要:本申请提供了提拉涂膜夹具、提拉涂膜设备及提拉涂膜方法,涉及化学膜制备技术领域。一种提拉涂膜夹具,包括主体、密封圈和两个压杆。主体具有凹槽和围设于凹槽四周的平台,平台用于放置待涂膜元件。密封圈围设于凹槽的四周且与平台密封连接。两个压杆能够分别与凹槽两侧的平台可拆卸连接,以将放置于平台上的待涂膜元件紧贴与密封圈。该提拉涂膜夹具对元件采用两侧夹持,不在元件顶部和底部有任何高出元件表面的夹持,避免影响元件表面膜层的均匀性。采用凹槽和密封圈的配合,实现大口径高径厚比元件的单面密封,能够实现对大口径高径厚比元件的两个不同表面制备不同的化学膜。
专利权项:1.一种提拉涂膜夹具,其特征在于,包括:主体,所述主体具有凹槽和围设于所述凹槽四周的平台,所述平台用于放置待涂膜元件;密封圈,所述密封圈围设于所述凹槽的四周且与所述平台密封连接;以及两个压杆,所述两个压杆能够分别与所述凹槽两侧的平台可拆卸连接,所述两个压杆被配置为作用于待涂膜元件的两个侧边且与所述平台连接,以将放置于所述平台上的待涂膜元件紧贴于所述密封圈。
百度查询: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 提拉涂膜夹具、提拉涂膜设备及提拉涂膜方法
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