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一种MoNb合金靶材的再生方法 

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申请/专利权人:宁波江丰电子材料股份有限公司

摘要:本发明涉及一种MoNb合金靶材的再生方法,所述再生方法包括如下步骤:1MoNb合金废靶经表面预处理,得到预处理废靶;2将步骤1所得预处理废靶进行电子束熔炼处理,所得MoNb合金锭材经等离子体球化处理,得到MoNb合金粉体;3步骤2所得MoNb合金粉体依次经填充振实处理、脱气处理、热等静压处理以及机加工,得到所述MoNb合金靶材。本发明通过将电子束熔炼与等离子体球化工艺相结合,实现了对MoNb合金废靶的回收再利用,制得的MoNb合金靶材致密度较高,能够达到平板显示行业的高性能要求。

主权项:1.一种MoNb合金靶材的再生方法,其特征在于,所述再生方法包括如下步骤:1MoNb合金废靶经表面预处理,得到预处理废靶;2将步骤1所得预处理废靶进行电子束熔炼处理,所得MoNb合金锭材经等离子体球化处理,得到MoNb合金粉体;3步骤2所得MoNb合金粉体依次经填充振实处理、脱气处理、热等静压处理以及机加工,得到所述MoNb合金靶材。

全文数据:

权利要求:

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