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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本发明提供一种MoNb靶材EBSD检测的制样方法，所述MoNb靶材EBSD检测的制样方法包括如下步骤：1MoNb靶材经切割，得到切割后样品；2步骤1所述切割后样品经机械抛光，得到抛光后样品；3步骤2所述抛光后样品经电解液电解抛光1～3min，得到待测样品；所述电解液按质量分数计含有56～73wt％的甲醇和27～44wt％的2‑丁氧基乙醇。所述制样方法能够得到表面平坦无划痕的样品，经EBSD检测后衍射菊池带清晰，能够清楚的分别纯Mo相和纯Nb相，标定率可达80％以上，结果准确。
主权项：1.一种MoNb靶材EBSD检测的制样方法，其特征在于，所述制样方法包括如下步骤：1MoNb靶材经切割，得到切割后样品；2步骤1所述切割后样品经机械抛光，得到抛光后样品；3步骤2所述抛光后样品经电解液电解抛光1～3min，得到待测样品；所述电解液按质量分数计含有56～73wt％的甲醇和27～44wt％的2-丁氧基乙醇。
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