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一种基于PtSe2的PIN光电探测器及制备流程 

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申请/专利权人:闽南师范大学

摘要:本发明提供一种基于PtSe2的PIN光电探测器,其特征在于:其结构包括下部掺砷的N‑Si片,中部I‑Si本征层,上部化学气相沉积法制备的P‑PtSe2二维材料层,I‑Si本征层与P‑PtSe2二维材料层之间为SiO2绝缘层,N‑Si片背面具有电极,P‑PtSe2二维材料层顶面具有顶部电极。本发明提高光电探测器的光电转换效率,使之更高的响应度。

主权项:1.一种基于PtSe2的PIN光电探测器,其特征在于:其结构包括下部掺砷的N-Si片2,中部I-Si本征层3,上部化学气相沉积法制备的P-PtSe2二维材料层5,I-Si本征层3与P-PtSe2二维材料层5之间为SiO2绝缘层4,N-Si片2背面具有电极1,P-PtSe2二维材料层5顶面具有顶部电极6。

全文数据:

权利要求:

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