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采用电容器嵌入式再分布层(RDL)衬底将(多个)IC芯片接合到封装衬底的集成电路(IC)封装及相关方法 

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申请/专利权人:高通股份有限公司

摘要:采用电容器嵌入式再分布层RDL衬底的集成电路IC封装及相关制造方法。嵌入式电容器可以耦合到配电网PDN以提供去耦电容以减少电流电阻IR下降。RDL衬底设置在多个IC芯片与封装衬底之间,以最小化多个嵌入式电容器与多个IC芯片之间的距离,以减少PDN中的寄生电感,从而降低PDN噪声。在RDL衬底设置在封装衬底与多个IC芯片之间的情况下,RDL衬底需要支持封装衬底与多个IC芯片之间的贯通互连。在这方面,RDL衬底包括与外部RDL层,该外部RDL层与多个IC芯片相邻,以支持小节距金属互连以及提供扇出能力。这提供了与更高密度的管芯互连IC芯片的增强的连接性兼容性,同时还支持PDN中更靠近定位的嵌入式电容器。

主权项:1.一种集成电路IC封装,包括:封装衬底,包括多个封装衬底互连;IC芯片,包括多个管芯互连;再分布层RDL衬底,设置在所述封装衬底与所述IC芯片之间,所述RDL衬底包括:RDL层,包括多个再分布金属线,每个再分布金属线包括RDL互连,所述RDL互连耦合到所述多个管芯互连中的管芯互连;衬底层,包括多个衬底互连;以及电容器,设置在所述RDL层与所述衬底层之间;以及至少一个竖直互连访问过孔,电耦合到所述多个管芯互连中的管芯互连和所述电容器。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 高通股份有限公司 采用电容器嵌入式再分布层(RDL)衬底将(多个)IC芯片接合到封装衬底的集成电路(IC)封装及相关方法

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