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申请/专利权人：江苏集芯先进材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于碳化硅衬底片退火的承载工装及退火装置，包括：底板和封板，底板和封板在上下方向间隔开排布；多个导向杆和多个垫块，多个导向杆沿底板的周向上间隔开且竖直设置，每个导向杆的底部与底板相连，每个导向杆穿过相应的多个垫块，封板与导向杆的顶部可拆卸地相连以压紧多个垫块，每个垫块朝向底板中心的一侧设有放置槽，在周向相邻的导向杆上的多个垫块的放置槽一一对应且具有相同高度，以向对应的碳化硅衬底片提供水平支撑。根据本实用新型的用于碳化硅衬底片退火的承载工装，可对多个六寸或八寸碳化硅衬底片进行批量退火，并且可多次重复使用，节省成本，同时可以观察晶片内部情况，有利于避免由于叠片造成的缺陷。
主权项：1.一种用于碳化硅衬底片退火的承载工装，其特征在于，包括：底板和封板，所述底板和所述封板在上下方向间隔开排布；多个导向杆和多个垫块，多个所述导向杆沿所述底板的周向上间隔开且竖直设置，每个所述导向杆的底部与所述底板相连，每个所述导向杆穿过相应的多个所述垫块，所述封板与所述导向杆的顶部可拆卸地相连以压紧多个所述垫块，每个所述垫块朝向所述底板中心的一侧设有放置槽，在周向相邻的所述导向杆上的多个所述垫块的放置槽一一对应且具有相同高度，以向对应的所述碳化硅衬底片提供水平支撑。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏集芯先进材料有限公司 用于碳化硅衬底片退火的承载工装及退火装置
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