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申请/专利权人：上海哥瑞利软件股份有限公司

摘要：本发明公开了一种半导体12吋Full‑Auto物流回滚机制，MES下发任务Source@STORAGE＝Dest@STORAGE，CARRIER位置：Source@STORAGE，状态：QUEUE；2MES下发任务Source@STORAGE＝Dest@STORAGE，CARRIER位置：Source@STORAGE，状态：Transfering。本申请可针对各种不同场景，将FOUP放回初始地，不需要再人工介入从MCS客户端重新发送命令，可以减少许多物流搬运上的损失，以及取消命令有可能被AMHS给拒绝，导致取消命令失败本申请半导体12吋Full‑Auto物流回滚机制。

主权项：1.半导体12吋Full-Auto物流回滚机制，其特征在于，包括如下步骤：1MES下发任务Source@STORAGE＝Dest@STORAGE，CARRIER位置：Source@STORAGE，状态：QUEUE，Cancel描述：该JOB在AMHS还没准备搬运时将该JOB取消，因此CARRIER并没做任何搬运，停留在STORAGE中；2MES下发任务Source@STORAGE＝Dest@STORAGE，CARRIER位置：Source@STORAGE，状态：Transfering，Cancel描述：当搬运开始时，这时候发算Cancel设备也会拒绝，因此这时候MCS如果收到MESCancelJob的请求，MCS则直接从数据库更改该Job的目的地，并且上报更改目的地Report给MES，因此当CARRIER到了出库口之后，小车会直接将该CARRIER再搬回同一台设备的进入口，然后入回STORAGE中；3MES下发任务Source@STORAGE＝Dest@STORAGE，CARRIER位置：Source@TO，状态：Transfering，Cancel描述：当CARRIER到了出库口之后，才接收到MESCancelJob的请求，由于出库口无法直接入库，因此必须透过小车将该CARRIER搬回同一台设备的进入口，然后入回STORAGE中；4MES下发任务Source@STORAGE＝Dest@STORAGE，CARRIER位置：Vehicle，状态：Transfering，AMHSReplySuccess，Cancel描述：当CARRIER到了Vehicle之后，才接收到MESCancelJob的请求，此时MCS会对设备下Abort终止当前命令，之后会再重新下发新的搬运任务将CARRIER搬回初始地；5MES下发任务Source@STORAGE＝Dest@STORAGE，CARRIER位置：Vehicle，状态：Transfering，AMHSReplyFail，Cancel描述：当CARRIER到了Vehicle之后，才接收到MESCancelJob的请求，由于MCS给设备下Abort请求失败，无法取消当前的任务，所以在该CARRIER到达MES原本指派的目的地后，MCS会重新下发新的任务搬回原来的目的地；6MES下发任务Source@STORAGE＝Dest@STORAGE，CARRIER位置：Dest@TI，状态：Transfering，Cancel描述：当CARRIER到了DestTIPort之后，才接收到MESCancelJob的请求，此时因为如果目的地是STB或EQP，该任务已经结束了，MCS则是直接回复Cancel失败给MES。

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权利要求：

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