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用于基于半导体的MZM调制器的相位匹配的光波传播和RF波传播的方法和装置 

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申请/专利权人:新飞通光电公司

摘要:具有与行波结构中的RF波导相互作用的基于半导体的光波导的光调制器。半导体光波导通常包括沿波导的pn结。为了降低光信号和RF信号之间的相位偏离,行波结构可以包括其中相位偏离被反转的一个或多个补偿部分。补偿部分可以包括掺杂剂浓度的改变、光波导的额外长度和或RF波导的额外长度。描述了对应的方法。

主权项:1.一种光调制器,包括:基于硅的光波导,和RF波导,其中,所述基于硅的光波导和所述RF波导被配置有:一个或多个耦合区域,以在所述基于硅的光波导内提供RF电磁场;以及一个或多个补偿部分,具有一定长度的光波导和或RF波导,其显著减小或消除电光耦合,以减小所述基于硅的光波导中的光传输与所述RF波导中的RF信号之间的累积相位差;其中,所述RF波导形成连续波导结构,该连续波导结构通过所述一个或多个补偿部分形成。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 新飞通光电公司 用于基于半导体的MZM调制器的相位匹配的光波传播和RF波传播的方法和装置

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