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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日：2021-09-01
公开（公告）日：2023-04-28
公开（公告）号：CN116033962A
专利技术分类：
专利摘要：本公开的一个方式的原料供给装置具有：容器，其贮存溶液或分散体系，该溶液是将固体原料溶解于溶剂而得到的溶液，该分散体系是使固体原料分散于分散介质而得到的分散体系；注入部，其将所述溶液或所述分散体系以喷雾的方式注入到所述容器内；以及控制部，其控制喷雾条件，以使被从所述注入部喷雾的所述溶液或所述分散体系的喷雾方向随时间发生变化。
专利权项：1.一种原料供给装置，具有：容器，其贮存溶液或分散体系，所述溶液是将固体原料溶解于溶剂而得到的溶液，所述分散体系是使固体原料分散于分散介质而得到的分散体系；注入部，其将所述溶液或所述分散体系以喷雾的方式注入到所述容器内；以及控制部，其控制喷雾条件，以使被从所述注入部喷雾的所述溶液或所述分散体系的喷雾方向随时间发生变化。
百度查询： 东京毅力科创株式会社 原料供给装置和原料供给方法
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