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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日：2020-09-15
公开（公告）日：2022-04-26
公开（公告）号：CN114402093A
专利技术分类：..产生反应气流的方法，例如通过母体材料的蒸发或升华[2006.01]
专利摘要：本发明的一个方式的原料供给装置包括：容器，其用于贮存使第一固体原料溶解于溶剂而得到的溶液或使第一固体原料分散于分散介质而得到的分散体系；注入部，其用于将所述溶液或所述分散体系进行喷雾而注入到所述容器内；排气口，其用于对所述容器内进行排气；加热部，其用于对通过从所述溶液或分散体系除去所述溶剂或所述分散介质而形成的第二固体原料进行加热；和设置在所述容器内的所述注入部与所述排气口之间的堆积部，其用于使所述第二固体原料堆积。
专利权项：1.一种原料供给装置，其特征在于，包括：容器，其用于贮存使第一固体原料溶解于溶剂而得到的溶液或使第一固体原料分散于分散介质而得到的分散体系；注入部，其用于将所述溶液或所述分散体系进行喷雾而注入到所述容器内；排气口，其用于对所述容器内进行排气；加热部，其用于对通过从所述溶液或所述分散体系除去所述溶剂或所述分散介质而形成的第二固体原料进行加热；和设置在所述容器内的所述注入部与所述排气口之间的堆积部，其用于使所述第二固体原料堆积。
百度查询： 东京毅力科创株式会社 原料供给装置和原料供给方法
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