龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京超弦存储器研究院
摘要：本发明提供了一种磁隧道结互连通孔填充塞接触电阻测量结构及测量方法，包括磁隧道结、复合金属层和电极组，所述磁隧道结为包含磁性金属材料的膜叠层；所述复合金属层通过通孔填充塞与磁隧道结连接；所述电极组为包括第一电极、第二电极、第三电极和第四电极，所述第一电极通过设置在复合金属层上的互连引线经通孔填充塞与第四电极连接；所述第二电极和第三电极分别通过通孔填充塞阵列与所述磁隧道结连接。给电极输入电源后，电流将主要通过通孔填充塞和磁隧道结的磁性金属材料，磁隧道结的磁性金属材料阻值极小可忽略，因此测得的电阻值即为互连通孔的接触电阻，测得的接触电阻无互连引线电阻带来的误差。
主权项：1.一种磁隧道结互连通孔填充塞接触电阻测量结构，其特征在于，包括磁隧道结、复合金属层和电极组，其中所述磁隧道结为包含磁性金属材料的膜叠层；所述复合金属层通过通孔填充塞与磁隧道结连接；所述电极组为包括第一电极、第二电极、第三电极和第四电极，所述第一电极通过设置在复合金属层上的互连引线经通孔填充塞与第四电极连接；所述第二电极和第三电极分别通过通孔填充塞阵列与所述磁隧道结连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京超弦存储器研究院 磁隧道结互连通孔填充塞接触电阻测量结构及测量方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号