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申请/专利权人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司

摘要：本发明公开了APCVD设备自动下料存放结构及其快速存放方法，运料机构包括接料板和运料架，接料板的外表面与运料架的外表面固定连接，运料架的外部设置有连接架，本发明涉及APCVD设备技术领域。该APCVD设备自动下料存放结构及其快速存放方法，通过设置运料机构，物料从设备内部出料后落在接料板上的料槽内部，然后通过重力下滑并推动缓冲板运动，缓冲板运动通过压缩缓冲弹簧，利用弹力对物料的机械能进行抵消，使得物料平稳停止，随之横滑块通过液压杆和吸盘可对物料进行吸附以及转移，横滑块运动通过连接单元使得清洁棉条对夹持板进行清理避免造成物料受到污染，通过上述结构的组合解决了现有APCVD设备的下料存料方式较为不便的问题。

主权项：1.APCVD设备自动下料存放结构，包括底板1，所述底板1的顶部设置有两个支柱2，其特征在于：所述底板1的顶部设置分别有运料机构3和存放机构4；所述运料机构3包括接料板31和运料架32，所述接料板31的外表面与运料架32的外表面固定连接，所述运料架32的外部设置有连接架33，所述连接架33和接料板31的底部均与支柱2的顶部固定连接，所述连接架33的内部开设有贯通的横滑槽34，所述连接架33的外部设置有清理组件35，所述运料架32的外部设置有下料组件36，所述横滑槽34的内表面滑动连接有横滑块37，所述横滑块37的底部固定连接有液压杆38，所述液压杆38的底部设置有吸盘39，所述接料板31的顶部开设有料槽310，所述料槽310的内表面滑动连接有缓冲板311，所述接料板31的内部开设有与料槽310相连通的通槽312，所述缓冲板311的外表面与通槽312的内表面滑动连接，所述通槽312的内表面固定连接有支撑杆313，所述支撑杆313的外表面与缓冲板311的内部贯穿滑动连接，所述支撑杆313的外表面套设有缓冲弹簧314；所述清理组件35包括支撑块351和清理板352，所述支撑块351的外表面与横滑槽34的内表面活动连接，所述支撑块351通过连接单元353与横滑块37相连接，所述支撑块351的内部贯穿转动连接有转杆354，所述转杆354的外表面贯穿固定连接有齿轮355，所述齿轮355的外表面与支撑块351的内部贯穿转动连接，所述转杆354的底端与清理板352的顶部固定连接，所述清理板352的顶部设置有清洁棉条356；所述连接单元353包括对称设置的横向伸缩杆3531和连接条3532，两个所述横向伸缩杆3531的一端均与支撑块351的外表面固定连接，两个所述横向伸缩杆3531的一端均与横滑槽34的内表面固定连接，两个所述横向伸缩杆3531的外表面均套设有复位弹簧3533，所述连接条3532的一端与横滑块37的外表面固定连接，所述连接条3532的外表面与支撑块351的内部贯穿滑动连接，所述连接条3532的外表面设置有接触齿牙3534，所述接触齿牙3534的外表面与齿轮355的齿牙相啮合，所述连接条3532的外表面贯穿固定连接有推板3535，所述推板3535的外表面与支撑块351的外表面活动连接。

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