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申请/专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日：2022-01-19
公开（公告）日：2022-09-09
公开（公告）号：CN217405391U
专利技术分类：..用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L21/68）[2006.01]
专利摘要：本申请提供了一种基台及吸附载台，包括：基座；支撑座，固定设置于所述基座上，用于可拆卸安装吸附面板，且在所述支撑座上还设置有避让空间；以及连接座，沿竖直方向活动设置于所述避让空间内，且在所述连接座上至少分别设置有第一安装结构和第二安装结构，其中，所述第一安装结构用于可拆卸安装第一接料件，所述第二安装结构用于可拆卸安装第二接料件。可看出，本申请中的基台可实现第一接料件和第二接料件的安装，在实际使用时可根据晶圆的形态选择安装对应的接料件，以提高整个基台的兼容性。
专利权项：1.一种基台，其特征在于，包括：基座；支撑座，固定设置于所述基座上，用于可拆卸安装吸附面板，且在所述支撑座上还设置有避让空间；以及连接座，沿竖直方向活动设置于所述避让空间内，且在所述连接座上至少分别设置有第一安装结构和第二安装结构，其中，所述第一安装结构用于可拆卸安装第一接料件，所述第二安装结构用于可拆卸安装第二接料件。
百度查询： 大族激光科技产业集团股份有限公司 基台及吸附载台
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