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申请/专利权人：中北大学南通智能光机电研究院;中北大学
摘要：本发明属于位移传感器技术领域，具体涉及一种基于Talbot像和COMS相机结构的位移传感器，包括光源、凸透镜、光栅、COMS相机，所述光源设置在凸透镜的焦点处，所述光源发出的散射光通过凸透镜后成为平行光束，所述平行光束的光路方向上设置有光栅，所述平行光束经光栅发生衍射干涉，所述平行光束在光栅后形成Talbot像，所述COMS相机设置在任一级的Talbot像上；本发明通过光学设计使光源位移与Talbot像周期相结合，通过COMS相机对Talbot像周期进行测量进而实现对光源位移的测量，实现位移信号输出，仅使用光源、凸透镜、光栅、COMS相机器件，结构较为简单；同时，通过对Talbot像周期的测量也可实现对光源的准直，进而提高定位精度。本发明用于光微位移的测量。
主权项：1.一种基于Talbot像和COMS相机结构的位移传感器，其特征在于：包括光源1、凸透镜2、光栅3、COMS相机4，所述光源1设置在凸透镜2的焦点处，所述光源1发出的散射光通过凸透镜2后成为平行光束，所述平行光束的光路方向上设置有光栅3，所述平行光束经光栅3发生衍射干涉，所述平行光束在光栅3后形成Talbot像，所述COMS相机4设置在任一级的Talbot像上；所述光源1在垂直于光栅3的方向上发生位移时，经凸透镜2后光束变为散射光，所述光栅3后的Talbot像周期随光源1位移发生变化，所述COMS相机4测得Talbot像的光强，从而实现位移测量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中北大学南通智能光机电研究院 中北大学 一种基于Talbot像和COMS相机结构的位移传感器
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