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正型感光性树脂组合物、使用该组合物的浮雕图形以及固体成象元件 

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申请/专利权人:东丽株式会社

摘要:本发明提供在曝光前几乎不溶于碱显影液,如果曝光则容易溶解于碱显影液,并可以分辨微细图形,可用于光学元件并可以以高透明性和高折射率制成透镜形状的组合物。使用相对于a具有碱可溶性基团的聚合物100重量份,含有b吸收曝光波长的光,但是不因这种光而发生褪色的化合物1~30重量份;c醌二叠氮化合物1~50重量份;d选自铝化合物、硅化合物、锡化合物、钛化合物、锆化合物的至少一种并且粒子直径在1nm~30nm的无机粒子5~500重量份的正型感光性树脂组合物。

主权项:1.正型感光性树脂组合物,其特征是:相对于a具有碱可溶性基团的聚合物100重量份,含有b吸收曝光波长的光,但是不因该光而发生褪色的化合物1~30重量份;c醌二叠氮化合物1~50重量份;d选自铝化合物、硅化合物、锡化合物、钛化合物、锆化合物的至少一种并且粒子直径在1nm~30nm的无机粒子5~500重量份,其中,前述a成分是线型酚醛清漆树脂、甲阶酚醛树脂、具有酚性羟基或羧基的自由基聚合性单体的均聚物或它们的共聚物、具有酚性羟基或羧基的自由基聚合性单体与其以外的其它自由基聚合性单体的共聚物,或者是以通式1所示结构单元为主成份的聚合物:式中,R1表示具有2个以上碳原子的2价至8价有机基团,R2表示具有2个以上碳原子的2价至6价有机基团,R3表示氢或碳原子数为1至20的有机基团;n表示10至100000的范围,m表示0至2的整数,p、q表示0至4的整数;式中,p+q≥0,并且前述b成分是选自香豆素衍生物、苯并三唑衍生物、羟基二苯甲酮衍生物的1种以上的化合物。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 东丽株式会社 正型感光性树脂组合物、使用该组合物的浮雕图形以及固体成象元件

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