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申请/专利权人：精工爱普生株式会社
申请日：2004-03-31
公开（公告）日：2004-10-13
公开（公告）号：CN1536617A
专利技术分类：.半导体器件或其部件的制造或处理[2006.01]
专利摘要：一种制造装置及制造方法，具有：将可以储存多个制造对象物的收装容器作为一个单位而将所述收装容器在工序100、200、300间输送的工序间输送装置500、将所述制造对象物从所述收装容器中取出并以1个所述制造对象物作为一个单位而将所述制造对象物在各所述工序100、200、300内输送的工序内输送装置400、和在所述工序100、200、300内分别实施所述多项处理的多个处理装置600a～6001，所述多个处理装置600a～6001不是将对所述制造对象物进行应实施的同种处理的多个处理装置集中配置，而是基本沿着所述制造对象物的输送方向，按照对所述制造对象物应实施的处理顺序配置。由此，可以对制造对象物实施高效的处理。
专利权项：1.一种制造装置，是经由实施多项处理的工序来对制造对象物进行制造的制造装置，其特征是，具有：将可以储存多个所述制造对象物的收装容器作为一个单位而将所述收装容器在所述工序间输送的工序间输送装置、将所述制造对象物从所述收装容器中取出并以1个所述制造对象物作为一个单位而将所述制造对象物在各所述工序内输送的工序内输送装置、在所述工序内分别实施所述多项处理的多个处理装置，所述多个处理装置不是将对所述制造对象物进行应实施的同种处理的多个处理装置集中配置，而是大致沿着所述制造对象物的输送方向，按照对所述制造对象物应实施的处理顺序配置。
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