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申请/专利权人：西安诺博尔稀贵金属材料有限公司

摘要：本发明公开了一种铸造NiCrAlYSi合金靶材的工装，包括上端开口的钢桶，所述钢桶的底部上方设置有石墨垫板，所述石墨垫板上方设置有石墨模具，所述石墨模具的上端设置有与石墨模具相配合的保温冒口，所述石墨模具的外壁螺旋缠绕有冷却水管，所述冷却水管的一端穿出钢桶作为进水口，冷却水管的另一端穿出钢桶作为出水口，所述进水口位于出水口的下方，所述钢桶内且位于石墨模具的外侧填充有氧化铝砂，所述氧化铝砂的顶端高度不超过石墨模具的上端。另外，本发明还公开了利用所述工装铸造NiCrAlYSi合金靶材的方法。本发明的工装具有结构简单、使用可靠性高、成本低廉、重复操作性强等特点。

主权项：一种铸造NiCrAlYSi合金靶材的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、熔炼制备NiCrAlYSi合金锭坯；步骤二、将步骤一中所述NiCrAlYSi合金锭坯置于真空感应炉内的坩埚中，并将铸造NiCrAlYSi合金靶材的工装置于所述真空感应炉中，所述工装包括上端开口的钢桶6，所述钢桶6的底部上方设置有石墨垫板4，所述石墨垫板4上方设置有石墨模具1，所述石墨模具1的上端设置有与石墨模具1相配合的保温冒口5，所述石墨模具1的外壁螺旋缠绕有冷却水管2，所述冷却水管2的一端穿出钢桶6作为进水口8，冷却水管2的另一端穿出钢桶6作为出水口9，所述进水口8位于出水口9的下方，所述钢桶6内且位于石墨模具1的外侧填充有氧化铝砂7，所述氧化铝砂7的顶端高度不超过石墨模具1的上端；将所述工装的进水口8与真空感应炉的进水管连接，出水口9与真空感应炉的出水管连接，开启循环冷却水并调整循环冷却水的流量为0.6Lmin～0.9Lmin；步骤三、关闭步骤二中所述真空感应炉炉门，对真空感应炉抽真空至10‑2Pa后进行加热使NiCrAlYSi合金锭坯完全熔化，得到合金液；然后向真空感应炉中通入氩气至真空感应炉的真空度为0.04MPa～0.05MPa，继续加热，待所述合金液升温至1500℃～1600℃后将合金液沿保温冒口5连续浇入石墨模具1中，浇入的同时将循环冷却水的流量增大至8Lmin～10Lmin，待浇入的合金液完全凝固后，关闭循环冷却水，取出工装空冷，脱模后得到NiCrAlYSi合金靶材铸锭；步骤四、对步骤三中所述NiCrAlYSi合金靶材铸锭进行机加工，得到NiCrAlYSi合金靶材。

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