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申请/专利权人：宜兴市环洲微电子有限公司
申请日：2014-12-24
公开（公告）日：2015-06-24
公开（公告）号：CN204424216U
专利技术分类：.....应用从液相向固体或从固体向液相的扩散法，例如合金扩散工艺方法[2006.01]
专利摘要：本实用新型公开了一种用于镓扩散载镓源的镓源瓶，该镓源瓶内设有石英载源体（5），其特征在于：所述石英载源体（5）放置在镓源瓶的中间部位，在石英载源体（5）的上沿外侧设有石英载源体侧翼（6），石英载源体侧翼（6）对应设置在石英载源体（5）的左右侧和或前后侧使得石英载源体（5）能够固定嵌置在镓源瓶内。本实用新型通过设置石英载源体侧翼对石英载源体进行固定，操作方便且结构简单；进出气口挡板截面积的设置能够有效提高产品表面浓度的一致性和均匀性、提高参数一致性和产品的合格率，从而降低生产成本；镓源瓶和石英载源体的大小能够根据实际需求量来进行调整，故适宜在半导体硅片生产中推广使用。
专利权项：一种用于镓扩散载镓源的镓源瓶，该镓源瓶内设有石英载源体（5），其特征在于：所述的石英载源体（5）放置在镓源瓶的中间部位，在石英载源体（5）的上沿外侧设有石英载源体侧翼（6），石英载源体侧翼（6）对应设置在石英载源体（5）的左右侧和或前后侧使得石英载源体（5）能够固定嵌置在镓源瓶内。
百度查询： 宜兴市环洲微电子有限公司 一种用于镓扩散载镓源的镓源瓶
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