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龙图腾网恭喜泰微科技(珠海)有限公司申请的专利螺旋式三维表面形貌测量方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119124080B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411594288.X，技术领域涉及：G01B21/20；该发明授权螺旋式三维表面形貌测量方法及装置是由黎雪峰;何晓宇;林东生设计研发完成，并于2024-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本螺旋式三维表面形貌测量方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种螺旋式三维表面形貌测量方法及装置，螺旋式三维表面形貌测量方法包括以下步骤：驱动被测物体绕θ轴匀速旋转，同时驱动测量探头沿Y轴方向从被测物体中心往边缘进行连续移动，其中测量探头沿Y轴方向的移动速度在不同的区段不相同；通过测量探头采集被测物体表面相对高度值，得到被测物体上表面的圆柱坐标系数据集；将所得的圆柱坐标系数据集转换为空间直角坐标系数据集，以获得三维空间中被测物体上表面的形貌数据。上述的螺旋式三维表面形貌测量方法，能够在保证测量精度的同时，提升测量效率，减少不必要的数据采集量，从而优化整体测量过程，缩短测量时间并降低数据处理的复杂性。

本发明授权螺旋式三维表面形貌测量方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种螺旋式三维表面形貌测量方法，其特征在于，包括以下步骤：驱动被测物体绕θ轴匀速旋转，同时驱动测量探头沿Y轴方向从被测物体中心往边缘进行连续移动，以形成螺旋扫描路径，其中所述测量探头沿Y轴方向的移动速度在不同的区段不相同，所述θ轴为旋转轴，所述Y轴为平移轴；通过测量探头采集被测物体表面相对高度值，得到被测物体上表面的圆柱坐标系数据集r,θ,z；将所得的圆柱坐标系数据集r,θ,z转换为空间直角坐标系数据集x,y,z，以获得三维空间中被测物体上表面的形貌数据；所述测量探头沿Y轴方向的移动速度在不同的区段不相同包括：在Y轴靠近被测物体中心的区域内以较高速度进行移动，而在Y轴靠近被测物体边缘的区域内以较低速度进行移动；所述Y轴方向的不同区段包括三个阶段：RA段、RD段和RB段，其中，RA段为测量探头从被测物体中心向边缘移动的初始阶段，速度为Vy1；RD段为速度逐渐减速阶段，测量探头从速度Vy1减速至速度Vy2；RB段为靠近被测物体边缘的区域，测量探头以速度Vy2进行匀速移动；在RA段时，通过测量探头采集被测物体表面相对高度值，得到被测物体上表面的圆柱坐标系数据集r,θ,z，包括如下步骤：当测量探头移动到晶圆圆心时，记录此时的θ轴旋转角度θS；通过以下公式计算第一个有效采集点的旋转角度θ1：θ1＝θS|i×i+i其中，“|”为整除符号，i为两个相邻采集点之间的角度间隔；通过以下公式计算第一个有效采集点在Y轴方向上离圆心的距离Y1，即旋转半径： 其中，Vθ为θ轴的旋转速度，Vy1为测量探头的移动速度；通过以下公式计算第n个测量点的在Y轴方向上的旋转半径Yn：Yn＝Y1+Vy1×t×n-1其中，t为两个采集点之间的时间间隔；通过以下公式计算第n个测量点的旋转角度：θn＝θ1+i×n-1用所有测量点的旋转半径r、旋转角度θ，加上测量探头所测量的相对高度值z，就能够得到晶圆上表面的圆柱坐标系的数据集r,θ,z。

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