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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222351744U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420912448.X，技术领域涉及：F16L41/08；该实用新型半导体工艺设备是由张波;舒鑫设计研发完成，并于2024-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种半导体工艺设备，包括底座、工艺管、进气管、第一转接部件和第二转接部件，工艺管竖向设置在底座上，进气管竖向设置在工艺管内，用于向工艺管内输送工艺气体，第一转接部件和第二转接部件为可拆卸连接的分体结构，第一转接部件的至少部分竖向设置在底座内，并与进气管连通，第二转接部件横向贯穿底座设置，第二转接部件的位于底座内的部分与第一转接部件可拆卸的连通，位于底座外的部分用于与外接管连通。本实用新型提供的半导体工艺设备，能够在拆装进气管时，降低进气管、底座和工艺管之间磕碰划伤的可能性，并且，无需对工艺管进行例如避让结构等额外设计，另外，还能够减少需要拆装的零部件，从而能够提高拆装的便捷性。

本实用新型半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括底座、工艺管、进气管、第一转接部件和第二转接部件，所述工艺管竖向设置在所述底座上，所述进气管竖向设置在所述工艺管内，用于向所述工艺管内输送工艺气体，所述第一转接部件和所述第二转接部件为可拆卸连接的分体结构，所述第一转接部件的至少部分竖向设置在所述底座内，并与所述进气管连通，所述第二转接部件横向贯穿所述底座设置，所述第二转接部件的位于所述底座内的部分与所述第一转接部件可拆卸的连通，所述第二转接部件的位于所述底座外的部分用于与外接管连通。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。