恭喜株式会社斯库林集团S·普林格获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利基板支撑装置、热处理装置、基板支撑方法、热处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112838029B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011329254.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板支撑装置、热处理装置、基板支撑方法、热处理方法是由S·普林格设计研发完成，并于2020-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板支撑装置、热处理装置、基板支撑方法、热处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板支撑装置、热处理装置、基板支撑方法、热处理方法，即使在闪光照射而基板变成弯曲形状的情况下，也能够抑制基板破裂。本申请说明书中公开的技术相关的基板支撑装置具备：保持板，用于与通过闪光照射加热而能够弯曲的基板相对；多个基板支撑销，设置于所述保持板，并且用于支撑所述基板，多个所述基板支撑销配置在使所述保持板和没有弯曲的状态下的所述基板之间的空间的体积与所述保持板和弯曲的状态下的所述基板之间的空间的体积变得相等的位置。
本发明授权基板支撑装置、热处理装置、基板支撑方法、热处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板支撑装置，其中，具备：保持板，用于与通过闪光照射加热而能够弯曲的基板相对；多个基板支撑销，设置于所述保持板，并且用于支撑所述基板，多个所述基板支撑销配置在使所述保持板和没有弯曲的状态下的所述基板之间的空间的体积与所述保持板和弯曲的状态下的所述基板之间的空间的体积变得相等的位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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