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龙图腾网恭喜上海治臻新能源股份有限公司申请的专利一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110541155B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910940914.9，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统是由毕飞飞;黎焕明;姜天豪;蓝树槐设计研发完成，并于2019-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统在说明书摘要公布了：一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统，主要包括：依次为进片腔室、过渡层沉积腔室、金属碳化物层沉积腔室和出片腔室；各个腔室的进出口均设有腔室阀门，腔室阀门将两侧的腔室相互隔开；样品传动装置穿过各个腔室内的底部，形成一条闭合回路；样品架设在样品传动装置上，带着样品从左至右依次穿过各个腔室。本发明采用非平衡磁场和平衡磁场的结合，对磁场方式，电源系统和靶基距的匹配优化，提高了金属碳化物涂层的结合性能和稳定性能；采用连续化的小型沉积设备，引入机械手等自动化设备实现对金属碳化物涂层的快速沉积，可降低涂层制备成本。

本发明授权一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统在权利要求书中公布了：1.一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统，其特征在于，主要包括：依次为进片腔室（1）、过渡层沉积腔室（2）、金属碳化物层沉积腔室（3）和出片腔室（4）；各个腔室的进出口均设有腔室阀门（5）将两侧的腔室相互隔开；样品传动装置（8）穿过各个腔室内的底部，形成一条闭合回路；样品架（6）设在所述样品传动装置（8）上，带动着样品（7）从左至右依次穿过各个腔室，完成涂层的制备；分别在所述过渡层沉积腔室（2）和所述金属碳化物层沉积腔室（3）的两侧壁面对称均匀布置一定数量的加热装置（12）；分别在所述过渡层沉积腔室（2）和所述金属碳化物层沉积腔室（3）内的两侧壁面上设有阴极磁场（13），与所述加热装置（12）间隔排列；所述过渡层沉积腔室（2）的阴极磁场（13）的表面并排设有多个金属靶位（9），而且各个金属靶位（9）上的磁力线相互闭合，构成非平衡闭合磁场；所述金属靶位（9）的数量为1～5，两侧对称靶位的间距为2～30cm；所述金属碳化物层沉积腔室（3）的阴极磁场（13）的表面并排设置多个碳化物靶位（10），而且各个靶位上的磁场为平衡磁场；所述碳化物靶位（10）的数量为1～5，两侧对称靶位的间距为2～20cm；所述金属靶位（9）所接电源采用高功率脉冲磁控溅射电源和直流溅射电源相互耦合的方式，两者通过电源匹配器相连；所述碳化物靶位（10）的靶材为金属碳化物靶材；在所述金属靶位（9）和所述碳化物靶位（10）的位置两侧，还分别设有还原性气体通气管（11），所述还原性气体为氢气。

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