恭喜佛山市佛冠义齿有限公司刘秀兰获国家专利权
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龙图腾网恭喜佛山市佛冠义齿有限公司申请的专利一种化学气相沉积炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222294193U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323269527.8,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种化学气相沉积炉是由刘秀兰;刘雪珍;谭瑞贞设计研发完成,并于2023-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积炉在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种化学气相沉积炉,包括炉体、盖合在炉体上的炉盖,所述炉体内设置有载料盘,所述载料盘上设有若干通气孔,其特点在于在载料盘上还设有若干锥柱,若干锥柱与若干通气孔一一间隔地排布成矩形阵列状。这样被加工的工件架置在若干锥柱上,不会堵塞通气孔,使得反应气体在沉积炉内分布均匀,且有效减少沉积盲区,防止被加工的工件与载料盘之间发生粘结,从而提高产品成品率和产品质量。
本实用新型一种化学气相沉积炉在权利要求书中公布了:1.一种化学气相沉积炉,包括炉体(1)、盖合在炉体(1)上的炉盖(2),所述炉体(1)内设置有载料盘(3),所述载料盘(3)上设有若干通气孔(31),其特征在于:在载料盘(3)上还设有若干锥柱(32),若干锥柱(32)与若干通气孔(31)一一间隔地排布成矩形阵列状。
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