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龙图腾网恭喜上海积塔半导体有限公司申请的专利一种平行度检测装置及校准系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222332055U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421204193.8，技术领域涉及：C23C16/52；该实用新型一种平行度检测装置及校准系统是由杜罡;杨晓亮设计研发完成，并于2024-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种平行度检测装置及校准系统在说明书摘要公布了：本说明书实施例提供一种平行度检测装置及校准系统，检测装置包括：检测组件，检测组件包括第一盖板、第二盖板和零点校准板，第一盖板上安装有若干压力传感器，若干压力传感器上连接有弹簧，弹簧另一端与第二盖板相连接，零点校准板与第二盖板相配合；压力表，压力表通过电缆与若干压力传感器相连接，压力表用检测压力传感器受到的压力值。通过设置第一盖板和第二盖板，第一盖板和第二盖板之间通过弹簧相连接，通过零点校准板和压力传感器对弹簧的初始压力进行调节，保证第一盖板和第二盖板之间的平行度，通过对加热器的位置进行调节，使得第一盖板与加热器相接触，第二盖板与喷淋头相接触，保证加热器与喷淋头之间的平行度。

本实用新型一种平行度检测装置及校准系统在权利要求书中公布了：1.一种平行度检测装置，其特征在于，包括：检测组件，所述检测组件包括第一盖板、第二盖板和零点校准板，所述第一盖板上安装有若干压力传感器，若干所述压力传感器上连接有弹簧，所述弹簧另一端与所述第二盖板相连接，所述零点校准板与所述第二盖板相配合，对所述弹簧的初始压力值进行校准；压力表，所述压力表通过电缆与若干所述压力传感器相连接，所述压力表用检测所述压力传感器受到的压力值；其中，所述第一盖板与第一待检测物体接触，所述第二盖板与第二待检测物体相接触。

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