恭喜北京晶亦精微科技股份有限公司祁德宇获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利一种晶圆转速的检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222299642U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323076706.X，技术领域涉及：G01P3/36；该实用新型一种晶圆转速的检测装置是由祁德宇设计研发完成，并于2023-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆转速的检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供的一种晶圆转速的检测装置，属于晶圆检测技术领域，包括：晶圆和检测装置，其中晶圆一侧开设有缺口，检测装置设置在所述晶圆一侧；所述检测装置适于发射光线，所述光线位于所述晶圆开设的所述缺口内。晶圆转动时缺口也会跟着转动，当晶圆转动后会切断光线的传播，当晶圆转动一圈后，光线会再次连通，光线通断的时间差就是晶圆转动一圈所用的时间，即可算出晶圆的转速，通过这种方式，无论晶圆的厚度大小及转速快慢都可以精准的检测晶圆的转速。
本实用新型一种晶圆转速的检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆1转速的检测装置2，其特征在于，包括：晶圆1，在一侧开设有缺口11；检测装置2，设置在所述晶圆1一侧；所述检测装置2适于发射光线，所述光线位于所述晶圆1开设的所述缺口11内；所述检测装置2包括检测主体21和位于所述检测主体21两端的第一检测臂22和第二检测臂23；所述第一检测臂22和所述第二检测臂23朝向所述晶圆1方向延伸设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京晶亦精微科技股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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