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申请/专利权人：东电电子太阳能股份公司
申请日：2009-06-15
公开（公告）日：2014-07-09
公开（公告）号：CN102124140B
专利技术分类：.以镀覆方法为特征的（C23C16/04优先）[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种热阱装置1，其包括具有至少一个进气口3、至少一个出气口5的壳体2、至少一个加热装置7及至少一个收集装置10，用以将反应副产物转化成产物。其中，收集装置设置于壳体内，位于进气口与出气口之间，其直径实质符合壳体的直径，且其具有至少一个开孔18。
专利权项：一种气相沉积热阱装置（1），其包括：壳体（2），包括至少一个进气口（3）及至少一个出气口（5）；至少一个加热装置（7）；以及至少两个收集装置（10），用以将反应副产物转化成沉积在所述收集装置（10）及或所述壳体（2）的内表面上的产物；其中，所述至少两个收集装置（10）设置于所述壳体（2）内，位于所述进气口（3）与所述出气口（5）之间，其中，所述至少两个收集装置（10）的每一个的直径实质符合所述壳体（2）的直径，所述至少两个收集装置（10）的每一个皆从所述壳体（2）的中央部径向延伸至所述壳体（2）的周缘部、且具有至少一个延伸形成于其中的开孔（18），所述至少两个收集装置（10）的每一个具有多数个轮辐，以定义所述开孔（18），其中，所述至少两个收集装置（10）使其上的所述开孔（18）以彼此交错的方式设置，以及所述至少两个收集装置（10）的表面积朝所述进气口（3）至所述出气口（5）的方向渐增，所述开孔（18）的气体通过面积朝所述进气口（3）至所述出气口（5）的方向渐减，其中所述热阱装置（1）更包括加热棒（8），所述至少两个收集装置（10）的每一个皆从所述加热棒（8）延伸出，其中所述加热棒（8）设置成使所述收集装置（10）的温度朝所述进气口（3）至所述出气口（5）的方向渐增。
百度查询： 东电电子太阳能股份公司 阱
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