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龙图腾网恭喜罗博特科智能科技股份有限公司申请的专利一种PECVD反应装置及调节方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119710650B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510233682.9，技术领域涉及：C23C16/50；该发明授权一种PECVD反应装置及调节方法是由戴军;罗银兵;杨乐设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种PECVD反应装置及调节方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种PECVD反应装置及调节方法，包括：壳体；反应管，反应管位于壳体内；第一连接组件，第一连接组件包括固定板、第一调节件和密封机构，壳体的端部与固定板连接，第一调节件连接于密封机构和固定板之间，密封机构包括第一密封件，反应管的端部能够与第一密封件相抵，固定板滑动连接有活动块，活动块位于固定板与密封机构之间，活动块能够沿反应管的径向移动并与反应管相抵；第二连接组件，壳体和反应管皆位于第一连接组件和第二连接组件之间，第二连接组件与壳体的端部连接，且第二连接组件还与反应管相抵。本发明一种PECVD反应装置及调节方法，能够提高反应管的更换效率。

本发明授权一种PECVD反应装置及调节方法在权利要求书中公布了：1.一种PECVD反应装置，其特征在于，包括：壳体；反应管，所述反应管位于所述壳体内；第一连接组件，所述第一连接组件包括固定板、第一调节件和密封机构，所述壳体的端部与所述固定板连接，所述第一调节件连接于所述密封机构和所述固定板之间，所述密封机构包括第一密封件，所述反应管的端部能够与所述第一密封件相抵，所述固定板滑动连接有活动块，所述活动块位于所述固定板与所述密封机构之间，所述活动块能够沿所述反应管的径向移动并与所述反应管相抵；所述密封机构还包括依次连接的第一安装环、第二安装环和第三安装环，所述第一调节件与所述第三安装环连接，且所述第一调节件设有多个并沿所述第三安装环的内圈边沿设置，所述第一调节件为长螺栓和螺母，所述长螺栓上螺纹连接有至少两个所述螺母，所述长螺栓依次贯穿所述第三安装环和所述第一调节件，所述第三安装环上设有用于容纳螺头的凹槽，所述螺母皆位于所述固定板与所述第三安装环之间，两个所述螺母分别与所述固定板和所述第三安装环相抵；所述第一密封件为密封圈，所述第二安装环设有向所述第二安装环圆心方向凸出的凸台，所述凸台朝向所述反应管的一侧设有安装槽，所述第一密封件与所述安装槽卡接；所述固定板上接近所述第三安装环的一侧设有导向块，所述导向块上设有滑槽，所述滑槽沿所述反应管的径向设置，所述导向块沿所述反应管的周向设有多个，所述固定板上共连接有两个所述导向块，两个所述导向块位于所述反应管的下方，且两个所述导向块以沿所述反应管径向呈竖直的对称轴呈轴对称设置；所述活动块与所述滑槽滑动连接，且所述导向块远离所述反应管的一侧连接有第二调节件，所述第二调节件为螺栓，通过旋转螺栓使螺栓的端部能够与活动块相抵；第二连接组件，所述壳体和所述反应管皆位于所述第一连接组件和所述第二连接组件之间，所述第二连接组件与所述壳体的端部连接，且所述第二连接组件还与所述反应管相抵。

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