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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利监视装置、基板处理装置、监视方法以及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114667592B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080078123.0，技术领域涉及：H01L21/027；该发明授权监视装置、基板处理装置、监视方法以及存储介质是由桾本裕一朗;滨田佳志;羽山隆史;冈田基;滨口翔喜设计研发完成，并于2020-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本监视装置、基板处理装置、监视方法以及存储介质在说明书摘要公布了：本发明的课题在于，在基于摄像运动图像监视基板处理时减少计算机的处理负荷。本公开的一个方面所涉及的监视装置是基板处理装置的监视装置，该基板处理装置具备：保持部，其用于保持基板；以及处理液供给部，其通过从喷嘴喷出处理液来向保持于保持部的基板的表面供给处理液。该监视装置具备：摄像部，其能够拍摄喷嘴和保持于保持部的基板的表面；监视用数据生成部，其在由基板处理装置执行包括第一处理和第二处理的基板的处理的执行期间，基于由摄像部得到的摄像运动图像数据来生成监视用运动图像数据；以及监视条件变更部，其在基板的处理的执行期间变更监视用运动图像数据的生成条件，使得与第一处理的执行期间的监视用运动图像数据相比较，第二处理的执行期间的监视用运动图像数据至少分辨率或帧数不同。

本发明授权监视装置、基板处理装置、监视方法以及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种监视装置，是基板处理装置的监视装置，该基板处理装置具备：保持部，其用于保持基板；以及处理液供给部，其通过从喷嘴喷出处理液来向保持于所述保持部的所述基板的表面供给所述处理液，所述监视装置具备：摄像部，其能够拍摄所述喷嘴和保持于所述保持部的所述基板的表面；监视用数据生成部，其在由所述基板处理装置执行包括第一处理和第二处理的所述基板的处理的执行期间，基于由所述摄像部得到的摄像运动图像数据来生成监视用运动图像数据；以及监视条件变更部，其在所述基板的处理的执行期间变更所述监视用运动图像数据的生成条件，使得与所述第一处理的执行期间的所述监视用运动图像数据相比较，所述第二处理的执行期间的所述监视用运动图像数据的至少分辨率或帧数不同。

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