恭喜罗斯蒙特公司大卫·安德鲁·布罗登获国家专利权
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龙图腾网恭喜罗斯蒙特公司申请的专利蓝宝石无油压力传感器上的多晶硅获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114252191B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011532388.1,技术领域涉及:G01L19/00;该发明授权蓝宝石无油压力传感器上的多晶硅是由大卫·安德鲁·布罗登;查尔斯·雷·威尔科克斯设计研发完成,并于2020-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本蓝宝石无油压力传感器上的多晶硅在说明书摘要公布了:一种压力传感器组件包括压力传感器,所述压力传感器具有支撑结构和蓝宝石隔离构件,所述蓝宝石隔离构件联接到所述支撑结构并且形成所述蓝宝石隔离构件的第一表面与所述支撑结构之间的区域。所述蓝宝石隔离构件的第二表面被定位成与来自或联接到过程的流体接合。电引线联接到多晶硅应变仪图案,所述多晶硅应变仪图案定位在所述蓝宝石隔离构件的所述第一表面上的所述区域中,并且所述多晶硅应变仪图案被配置为在所述蓝宝石隔离构件响应于所述压力而偏转时生成指示所述流体的所述压力的电信号。
本发明授权蓝宝石无油压力传感器上的多晶硅在权利要求书中公布了:1.一种压力传感器组件,所述压力传感器组件包括:形成腔的集管,所述压力传感器组件包括通向所述腔的流体通道;压力传感器,所述压力传感器定位在所述腔中并且被配置为感测所述流体通道内的流体的压力,所述压力传感器包括:支撑结构;蓝宝石隔离构件,所述蓝宝石隔离构件联接到所述支撑结构并且形成所述蓝宝石隔离构件的第一表面与所述支撑结构之间的区域,其上具有蓝宝石蚀刻表面的所述蓝宝石隔离构件的第二表面被定位成与所述流体通道内的流体接合;过程密封件,被定位成抵靠蓝宝石隔离构件的第二表面以防止流体经过压力传感器组件;电引线;以及多晶硅应变仪图案,所述多晶硅应变仪图案定位在所述蓝宝石隔离构件的所述第一表面上的所述区域中并且联接到所述电引线,其中所述多晶硅应变仪图案被配置为在所述蓝宝石隔离构件响应于所述压力而偏转时生成指示所述流体通道内的所述流体的所述压力的电信号。
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