恭喜厦门柔性电子研究院有限公司;厦门钜德电子科技有限公司续振林获国家专利权
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龙图腾网恭喜厦门柔性电子研究院有限公司;厦门钜德电子科技有限公司申请的专利一种晶圆类产品电镀挂具的自动上下料机构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113249774B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110746470.2,技术领域涉及:C25D21/10;该发明授权一种晶圆类产品电镀挂具的自动上下料机构是由续振林;李山水;李毅峰;朱石宝;陈妙芳设计研发完成,并于2021-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆类产品电镀挂具的自动上下料机构在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于晶圆类产品电镀挂具的自动上下料机构,包括Y向挂具插座、电镀挂具、X向滑动组件、P轴翻转驱动组件、翻转支撑组件以及上下料吸盘组件;电镀挂具插设在所述Y向挂具插座上,且至少一侧面设有一料槽;所述P轴翻转驱动组件位于电镀挂具的料槽侧,并通过X向滑动组件的带动沿X向靠近或远离所述电镀挂具;上下料吸盘组件通过所述翻转支撑组件连接所述P轴翻转驱动组件上,且所述P轴翻转驱动组件驱动所述翻转支撑组件在沿P轴翻转以及沿X向移动时,能带动所述上下料吸盘组件对准所述料槽完成晶圆类产品的上料或下料。本发明可实现产品的自动上下料操作,设备操作及控制更灵活,效率高。
本发明授权一种晶圆类产品电镀挂具的自动上下料机构在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆类产品电镀挂具的自动上下料机构,其特征在于:包括Y向挂具插座、电镀挂具、X向滑动组件、P轴翻转驱动组件、翻转支撑组件以及上下料吸盘组件;所述Y向挂具插座沿Y向布置,所述电镀挂具插设在所述Y向挂具插座上,且至少一侧面设有一料槽;所述X向滑动组件沿X向固定于所述Y向挂具插座的底部;所述P轴翻转驱动组件位于所述电镀挂具的料槽侧,并通过所述X向滑动组件的带动沿X向靠近或远离所述电镀挂具;所述上下料吸盘组件通过所述翻转支撑组件连接所述P轴翻转驱动组件上,且所述P轴翻转驱动组件驱动所述翻转支撑组件在沿P轴翻转以及沿X向移动时,能带动所述上下料吸盘组件对准所述料槽完成晶圆类产品的上料或下料;其中,X向与Y向垂直,P轴与Y向平行;所述Y向挂具插座包括一底框、两侧框、一插槽顶盖以及一积水盘;所述底框上设有安装孔;两所述侧框立设于所述底框的两端部,且内侧面设有引导滚轮;所述插槽顶盖的两端连接于所述侧框的顶端,并开设有一插槽,且所述插槽的大小和形状与所述电镀挂具的大小和形状相适应;所述积水盘设有底框上方;所述P轴翻转驱动组件进一步包括滑台、固定架、电机固定板、丝杆电机、浮动板和导柱;所述滑台连接在所述X向滑动组件上,在所述X向滑动组件带动下能沿X向滑动;所述固定架固定于所述滑台上,且顶部设有一P向翻转轴;所述电机固定板固定连接于所述固定架上,所述丝杆电机自下而上设在所述电机固定板的底面,所述浮动板上设有丝杆配合孔、导柱孔以及连杆枢轴,并通过所述丝杆配合孔与所述丝杆电机的丝杆配合连接;所述X向滑动组件包括X向直线滑轨和X向丝杆电机,所述X向直线滑轨和所述X向丝杆电机均穿设于所述底框的安装孔内,且所述X向丝杆电机连接并驱动所述滑台在所述X向直线滑轨上滑动。
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