买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜中国科学院西安光学精密机械研究所申请的专利多次反射超快高精度干涉仪及面形测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116202442B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310065889.0，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权多次反射超快高精度干涉仪及面形测量方法是由马臻设计研发完成，并于2023-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本多次反射超快高精度干涉仪及面形测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多次反射超快高精度干涉仪及面形测量方法，干涉仪包括短脉冲激光源、光能量调整装置、线偏振片、12波片、偏振分光棱镜、第一14偏振波片、第二14偏振波片、第一参考标准镜、第二参考标准镜、标准镜、偏振器件、分幅相机和控制器，分幅相机、短脉冲激光器均连接至控制器，短脉冲激光源发出的短脉冲激光从光源射出后依次经光能量调整装置、线偏振片和12波片后进入偏振分光棱镜，分解成两束光进入测量支路和参考支路。本发明通过使用短脉冲激光在干涉等光程腔体中多次反射振荡的方法增加检测灵敏度，并采用了延时同步快门的分幅相机来实现多次反射干涉脉冲信号的时间选通，从而实现皮米量级的光学镜面面形检测。

本发明授权多次反射超快高精度干涉仪及面形测量方法在权利要求书中公布了：1.一种多次反射超快高精度干涉仪，其特征在于，包括短脉冲激光源、光能量调整装置、线偏振片、12波片、偏振分光棱镜、第一14偏振波片、第二14偏振波片、第一参考标准镜、第二参考标准镜、标准镜、偏振器件、分幅相机和控制器，所述分幅相机、短脉冲激光器均连接至控制器，所述第一参考标准镜、第二参考标准镜、被测镜和标准镜均为平面镜，或者，所述第一参考标准镜和第二参考标准镜均为平面镜，所述被测镜和标准镜均为球面镜；其中：所述短脉冲激光源发出的短脉冲激光从光源射出后依次经光能量调整装置、线偏振片和12波片后进入偏振分光棱镜，分解成为偏振方向分别与偏振分光棱镜主截面平行、垂直的两束光，平行于偏振分光棱镜主截面的光束进入测量支路，垂直于偏振分光棱镜主截面的光束进入参考支路；进入所述测量支路中的光波经第一14偏振波片后成为圆偏振光，通过标准镜后进入由标准镜和被测镜构成的振荡光腔，光波在振荡光腔中多次反射，每次从被测镜返回通过标准镜形成一个被测回波信号，从而得到一系列被测回波信号；被测回波信号经第一14偏振波片变为线偏振光，其偏振方向与光束第一次经过第一14偏振波片时相比转动90度，该线偏振光进入偏振分光棱镜被反射；进入所述参考支路的光波经第二14偏振波片后成为圆偏振光，通过第一参考标准镜后进入由第一参考标准镜和第二参考标准镜构成的振荡光腔，光波在振荡光腔中多次反射，每次在第二标准镜表面的反射分别形成一个参考光脉冲信号，从而得到一系列参考光脉冲信号；参考光脉冲信号经第二14偏振波片变为线偏振光，其偏振方向与光束第一次经过第二14偏振波片时相比转动90度，透过偏振分光棱镜；所述第一参考标准镜标准表面到偏振分光棱镜分光面的光程与标准镜的标准表面到偏振分光棱镜分光面的光程相等；所述第一参考标准镜和第二参考标准镜构成的光腔与标准镜和被测镜构成光腔的光程相等或为整数倍比；同一时刻的被测回波脉冲信号与参考光脉冲信号经过偏振分光棱镜后合束，再经过由多个偏振化方向不同偏振片组成的偏振器件后形成多幅干涉图像被分幅相机获取。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所，其通讯地址为：710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。