恭喜东方日升(常州)新能源有限公司许明现获国家专利权
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龙图腾网恭喜东方日升(常州)新能源有限公司申请的专利硅片悬浮传输机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113506762B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110729705.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权硅片悬浮传输机构是由许明现;蔡涔;谷士斌;胡林;马胜涛;张杜超;洪昀设计研发完成，并于2021-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片悬浮传输机构在说明书摘要公布了：本发明涉及一种硅片悬浮传输机构，包括悬浮载台，所述悬浮载台的一侧表面设有多个气孔，以通过所述气孔往外吹出气体和或将气体抽吸进所述悬浮载台内，以使硅片悬浮于所述悬浮载台设有所述气孔的一侧；所述悬浮载台上设有限位机构，所述限位机构具有可活动的止挡件，所述止挡件能够活动至从所述硅片远离所述悬浮载台的一侧挡住所述硅片的边缘部分。本发明提供的硅片悬浮传输机构，通过设置气孔实现了硅片在悬浮载台一侧表面的悬浮，通过设置限位机构，且限位机构具有可活动的止挡件，可从硅片远离悬浮载台的一侧拦住硅片，从而使得硅片能够始终悬浮在悬浮载台设有气孔的一侧。如此，可降低对气浮控制的要求。
本发明授权硅片悬浮传输机构在权利要求书中公布了：1.一种硅片悬浮传输机构，其特征在于，包括悬浮载台100，所述悬浮载台100的一侧表面设有多个气孔101，所述气孔101往外吹出气体和或将气体抽吸进所述悬浮载台100内，以使硅片900悬浮于所述悬浮载台100设有所述气孔101的一侧；所述悬浮载台100内设有相互独立的第一腔103和第二腔104，所述气孔101包括第一孔1011和第二孔1012，所述第一孔1011与所述第一腔103连通，所述第二孔1012与所述第二腔104连通，所述悬浮载台100上设有限位机构200，所述限位机构200具有可转动的止挡件210，所述止挡件210能够转动至从所述硅片900远离所述悬浮载台100的一侧挡住所述硅片900的边缘部分。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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