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恭喜株式会社LG化学朴泰文获国家专利权

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龙图腾网恭喜株式会社LG化学申请的专利用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀剂的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115039036B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180012135.8,技术领域涉及:G03F7/42;该发明授权用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀剂的方法是由朴泰文;李东勋;宋贤宇;李佑然设计研发完成,并于2021-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。

用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀剂的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物以及用于使用其剥离光致抗蚀剂的方法,所述用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物可以具有优异的光致抗蚀剂剥离力,可以在剥离过程中抑制对下面的金属膜的腐蚀,并且可以有效地除去氧化物。

本发明授权用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀剂的方法在权利要求书中公布了:1.一种用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物,包含:两种或更多种胺化合物;非质子溶剂,所述非质子溶剂选自其中氮经一个或两个C1至C5线性或支化烷基取代的酰胺化合物、砜化合物和亚砜化合物;质子溶剂;以及腐蚀抑制剂,其中所述胺化合物包含a叔胺化合物和b环状胺化合物和伯胺化合物;或者a叔胺化合物和b环状胺化合物和仲胺化合物,以及所述a叔胺化合物与所述b胺化合物的重量比为1:0.05至1:0.8,其中所述环状胺化合物与所述伯胺化合物的重量比为1:1至1:10;或者所述环状胺化合物与所述仲胺化合物的重量比为1:1至1:10,其中基于总的剥离剂组合物,所述胺化合物以0.1重量%至10重量%的含量包含在内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社LG化学,其通讯地址为:韩国首尔;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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