恭喜宁波大学王莹莹获国家专利权
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龙图腾网恭喜宁波大学申请的专利一种太阳能吸收材料Sb2Se3薄膜最佳退火温度的确定方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115954288B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211570822.4,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权一种太阳能吸收材料Sb2Se3薄膜最佳退火温度的确定方法是由王莹莹;宋宝安;刘欣丽;郑加成;翁月飞设计研发完成,并于2022-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种太阳能吸收材料Sb2Se3薄膜最佳退火温度的确定方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种太阳能吸收材料Sb2Se3薄膜最佳退火温度的确定方法,在Tg结晶温度以上,以50℃为增量值,选择多个温度对薄膜进行退火处理,通过分析XRD衍射图谱,计算不同退火温度下Sb2Se3薄膜样品120、211和221方向上衍射峰的半高宽、晶粒尺寸、微应变以及位错密度,确定Sb2Se3薄膜最佳退火温度的温度区间及其中间值,并进一步确定Sb2Se3薄膜的最佳退火温度。本发明方法只需要测试薄膜XRD衍射图谱,不需要其它额外测试,简单方便,具有更科学、更精确、更直观的优点,填补了关于如何确定薄膜最佳退火温度的技术空白,为Sb2Se3薄膜在太阳能领域的应用提供了有用的指导。
本发明授权一种太阳能吸收材料Sb2Se3薄膜最佳退火温度的确定方法在权利要求书中公布了:1.一种太阳能吸收材料Sb2Se3薄膜最佳退火温度的确定方法,其特征在于,包括以下步骤:1、Sb2Se3薄膜的结晶温度为Tg=200℃,将Sb2Se3薄膜分别在Tg、Tg+50℃、Tg+100℃、Tg+150℃、Tg+200℃温度下退火处理1小时,得到5个不同的Sb2Se3薄膜样品;2、分别利用X射线衍射仪得到步骤1中5个不同的Sb2Se3薄膜样品的XRD衍射图,分别计算这5个不同的Sb2Se3薄膜样品120、211和221方向上衍射峰的半高宽、晶粒尺寸、微应变以及位错密度,其中:衍射峰的半高宽与衍射峰的强度成反比,衍射峰的半高宽越小则衍射峰的强度越大,衍射峰的半高宽使用JADE软件分析得到;晶粒尺寸是晶粒生长大小的衡量指标,晶粒尺寸越大则晶粒生长状况越好,晶粒尺寸的计算方法如下: 其中,D是晶粒尺寸,λ是X射线波长,θ是衍射角,β是2θ处的衍射峰的半高宽;通过退火,Sb2Se3薄膜会产生晶格应变,应变值越小则结晶质量越好,应变值ε的计算方法如下: 位错密度是由于晶格偏离其参考位而产生的缺陷,位错密度越小则薄膜缺陷越小,位错密度δ的计算方法如下: 3根据步骤2的计算结果,筛选5个不同退火温度中抑制120方向的晶粒取向并增强211和221方向的晶粒取向的效果相对较好的2个退火温度,记为第一退火温度和第二退火温度;4、确定Sb2Se3薄膜最佳退火温度的温度区间,该温度区间以步骤3确定的第一退火温度和第二退火温度为区间端点,该温度区间即为Sb2Se3薄膜的最佳退火温度范围,取该温度区间的中间值,记为第三退火温度;另取未经退火的Sb2Se3薄膜,在第三退火温度下退火处理1小时,得到第三退火Sb2Se3薄膜样品;5按照步骤2的方法计算得到第三退火Sb2Se3薄膜样品120、211和221方向上衍射峰的半高宽、晶粒尺寸、微应变以及位错密度,比较第一退火温度、第二退火温度和第三退火温度下得到的Sb2Se3薄膜样品120、211和221方向上衍射峰的半高宽、晶粒尺寸、微应变以及位错密度,以211和221方向上衍射峰的半高宽最小、晶粒尺寸最大、应变值最小、位错密度最小以及120方向上衍射峰的半高宽最大、晶粒尺寸最小、应变值最大、位错密度最大的退火温度作为Sb2Se3薄膜的最佳退火温度。
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