恭喜哈尔滨工业大学田修波获国家专利权
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龙图腾网恭喜哈尔滨工业大学申请的专利长管道内部镀膜分段式进气阳极电位调制等离子体均匀装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116031133B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310058771.5,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权长管道内部镀膜分段式进气阳极电位调制等离子体均匀装置是由田修波;靳朋礼;巩春志设计研发完成,并于2023-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本长管道内部镀膜分段式进气阳极电位调制等离子体均匀装置在说明书摘要公布了:长管道内部镀膜分段式进气阳极电位调制等离子体均匀装置,本发明为了解决现有长管道内表面膜层沉积不均匀的问题。本发明分段式进气阳极电位调制等离子体均匀装置中的分段导气管阳极是在中心导管的周向设置有多个六边形管,多个分段导气管阳极依次相连形成导气管组件,导气管组件的中心导管内穿设有多根绝缘导线和拉紧钢丝,每根绝缘导线分别与分段导气管阳极中的导线接头电连,导气管组件中相邻分段导气管阳极之间插接有绝缘接头,且导气管组件的两端插接有端部绝缘接头,端部绝缘接头上连接有波纹管,波纹管与拉紧装置相连。本发明可根据被镀管道的长短,进行任意的组合增减导气管,调节进气的均匀性,提高管道内镀膜均匀性和膜层质量。
本发明授权长管道内部镀膜分段式进气阳极电位调制等离子体均匀装置在权利要求书中公布了:1.长管道内部镀膜分段式进气阳极电位调制等离子体均匀装置,其特征在于该长管道内部镀膜分段式进气阳极电位调制等离子体均匀装置包括多个分段导气管阳极1、绝缘接头2、转动阀3、绝缘导线4、导线接头5、拉紧装置6和波纹管7,所述的分段导气管阳极1是在中心导管1-1的周向设置有多个六边形管1-2,中心导管1-1内设置有导线接头5,其中两个相对的六边形管1-2的轴向上开有密布气孔,其余的六边形管1-2的轴向上开有疏布气孔;多个分段导气管阳极1依次相连形成导气管组件,导气管组件的中心导管1-1内穿设有多根绝缘导线4和拉紧钢丝10,每根绝缘导线4分别与分段导气管阳极1中的导线接头5电连,导气管组件中相邻分段导气管阳极1之间插接有绝缘接头2,且导气管组件的两端插接有端部绝缘接头8,端部绝缘接头8上连接有波纹管7,转动阀3同轴设置在端部绝缘接头8上,转动阀3与端部绝缘接头8转动连接,转动阀3的外圆周方向上设置有多个拨片,转动阀3内相对开有两个进气孔3-1;波纹管7的端部设置有横杆7-1,拉紧装置6包括两条拉绳6-1、三个滑轮6-2、三个配重物6-3和固定杆6-4,三个滑轮6-2套设在固定杆6-4上,横杆7-1的两端分别通过拉绳6-1连接有配重物6-3,拉紧钢丝10的两端也连接有配重物6-3,拉绳6-1绕过滑轮6-2。
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