恭喜中国科学院理化技术研究所李嫕获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国科学院理化技术研究所申请的专利一类适用于多种波长光刻的香豆素类非化学放大型光刻胶及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118580406B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310192677.9，技术领域涉及：C08F212/14；该发明授权一类适用于多种波长光刻的香豆素类非化学放大型光刻胶及其制备方法和应用是由李嫕;安惠雯;陈金平;于天君;曾毅设计研发完成，并于2023-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一类适用于多种波长光刻的香豆素类非化学放大型光刻胶及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明提供了一系列多波段感光的光刻胶主体材料，即式I所示的聚合物。其可以直接旋涂成膜并应用于I‑线、193nm光刻、电子束或极紫外光刻中。本发明所述聚合物为非化学放大光刻胶，且可通过对聚合单体进行官能化来改变聚合物的吸收波长，从而得到在多波长有响应的光刻胶材料。
本发明授权一类适用于多种波长光刻的香豆素类非化学放大型光刻胶及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.式（I）所示的聚合物： （I）；其中：x与y表示聚合物中两种单体的摩尔分数，0.2≤x≤1，0≤y≤0.8，且x+y=1；R选自或；R1选自氢、羟基、CN、卤素、磺酸钠、C1-12烷基、C1-12烷氧基、卤代C1-12烷基或-COC1-12烷基；R2、R3、R4、R5相同或不同，彼此独立地选自氢、羟基、CN、卤素、磺酸钠、C1-12烷基、C1-12烷氧基、C1-12烷硫基、卤代C1-12烷基、5-20元杂芳基、-O-C6-20芳基、-O-5-20元杂芳基、-O-C1-12烷基-C6-20芳基、-O-C1-12烷基-5-20元杂芳基、-N（C1-12烷基）2、-NHC1-12烷基、-N（C6-20芳基）2、-NHC6-20芳基、-S-C6-20芳基或-COC1-12烷基；R6选自CN、C1-12烷基、卤代C1-12烷基、C6-20芳基或5-20元杂芳基。
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