买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜地球山(苏州)微电子科技有限公司申请的专利MEMS扬声器发声单元结构及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119653296B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510174360.1，技术领域涉及：H04R19/02；该发明授权MEMS扬声器发声单元结构及其制备方法是由刘长华;毕学东设计研发完成，并于2025-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本MEMS扬声器发声单元结构及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种MEMS扬声器发声单元结构及其制备方法，通过将静电式开关单元键合连接于压电发声单元上，使其可以利用压电发声单元较高的转换效率输出较高能量的超声脉冲，再通过静电式开关单元的精准开关控制对脉冲信号进行超声解调，截取出有效部分用于数字音频合成，实现对脉冲信号的有效调制与控制，突破了传统单一驱动及信号处理方式声压级受限，电声转换效率低的问题，同时为MEMS扬声器的性能提升和功能拓展开辟了新的途径。

本发明授权MEMS扬声器发声单元结构及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS扬声器发声单元结构，其特征在于，所述发声单元结构由下向上依次包括：压电发声单元及键合于所述压电发声单元上的静电式开关单元；其中，所述静电式开关单元由下向上依次包括：第一衬底、第一绝缘层、第一下电极层、第二绝缘层及静电振膜层；还包括：贯穿所述第一衬底及所述第一绝缘层的第一空腔；位于所述第一空腔上方且贯穿所述第一下电极层及所述第二绝缘层的若干个第一通孔；位于所有所述第一通孔上方，且形成于所述静电振膜层及所述第二绝缘层之间的第二空腔；所述静电振膜层包括振膜、悬臂梁结构及位于所述振膜及所述悬臂梁结构之间的若干个透声孔，所述振膜位于所有所述第一通孔的上方，且所述振膜可以振动至覆盖所有所述第一通孔的表面；所述压电发声单元由下向上依次包括：第二衬底、第三绝缘层、第二下电极层、压电层及上电极层；还包括：贯穿所述第二衬底的第三空腔；位于所述第三空腔上方，且贯穿所述上电极层、所述压电层及所述第二下电极层的沟槽；形成于所述上电极层表面及所述沟槽的底壁和侧壁上的第四绝缘层；以及位于所述沟槽内且贯穿所述第四绝缘层和所述第三绝缘层的第二通孔。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人地球山(苏州)微电子科技有限公司，其通讯地址为：215500 江苏省苏州市常熟经济技术开发区永嘉路99号常熟滨江国际贸易中心1幢201；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。