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龙图腾网恭喜北京日扬弘创智能装备有限公司申请的专利用于晶圆设备视觉定位的系统、方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119673849B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510187322.X，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权用于晶圆设备视觉定位的系统、方法及装置是由关仁杰;张永涛;杨朔;葛成重;赵海荣设计研发完成，并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆设备视觉定位的系统、方法及装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，公开了用于晶圆设备视觉定位的系统、方法及装置，其中，用于晶圆设备视觉定位的系统中晶圆夹持机械手臂和内置视觉相机的防水罩组合在一起，形成组合机械手臂，则该方法包括：在控制组合机械手臂移动到DSP区域中第一设定位置的情况下，获取视觉相机拍摄的行星轮上第一放置孔的第一当前图像信息，以及，在控制组合机械手臂移动到DSP区域中第二设定位置的情况下，获取视觉相机拍摄的行星轮上第二放置孔的第二当前图像信息；根据第一当前图像信息，第二当前图像信息，确定行星轮上中每个放置孔的位置信息，其中，行星轮上包括三个放置孔，每个放置孔承载一个晶圆。这样，提高了视觉定位的效率。

本发明授权用于晶圆设备视觉定位的系统、方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆设备视觉定位的方法，其特征在于，晶圆夹持机械手臂和内置视觉相机的防水罩组合在一起，形成组合机械手臂，该方法包括：在控制组合机械手臂移动到双面研磨抛光设备区域中第一设定位置的情况下，获取视觉相机拍摄的行星轮上第一放置孔的第一当前图像信息，以及，在控制组合机械手臂移动到双面研磨抛光设备区域中第二设定位置的情况下，获取视觉相机拍摄的行星轮上第二放置孔的第二当前图像信息；根据第一当前图像信息，第二当前图像信息，确定行星轮上中每个放置孔的位置信息，其中，行星轮上包括三个放置孔，每个放置孔承载一个晶圆；其中，所述确定行星轮上中每个放置孔的位置信息包括：根据第一当前图像信息，第二当前图像信息，进行图像识别，得到第一放置孔的第一当前位置信息和第二放置孔的第二当前位置信息；根据行星轮上三个放置孔的位置关系，第一当前位置信息，以及第二当前位置信息，确定第三放置孔的第三当前位置信息；所述确定第三放置孔的第三当前位置信息包括：得到第一当前位置信息与保存的第一初始位置信息之间的第一位置偏移，以及得到第二当前位置信息与保存的第二初始位置信息之间的第二位置偏移；根据行星轮上三个放置孔的位置关系，以及，第一位置偏移与第二位置偏移，得到与第三放置孔对应的第三位置偏移。

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