恭喜东京毅力科创株式会社冈野真也获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利输送装置、处理系统以及输送方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114981948B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180010362.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权输送装置、处理系统以及输送方法是由冈野真也设计研发完成，并于2021-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本输送装置、处理系统以及输送方法在说明书摘要公布了：本发明的一个方式的输送装置具有:第一保持部,其用于与基板的端部接触而对上述基板进行保持；以及第二保持部,其由弹性部件形成,用于仅与上述基板的背面接触而对上述基板进行保持。
本发明授权输送装置、处理系统以及输送方法在权利要求书中公布了：1.一种输送装置，具有：第一保持部，其用于与基板的端部接触而对上述基板进行保持；第二保持部，其由弹性部件形成，用于仅与上述基板的背面接触而对上述基板进行保持；以及控制装置，其中，上述控制装置构成为以如下方式控制该输送装置：通过上述第一保持部对上述基板进行保持的状态下的输送速度比通过上述第二保持部对上述基板进行保持的状态下的输送速度大，上述第一保持部设于不与被上述第二保持部保持的上述基板接触的位置，上述第二保持部设于不与被上述第一保持部保持的上述基板接触的位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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