恭喜ASML荷兰有限公司J·S·威尔登伯格获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于控制制造过程的方法和关联设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115066657B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180013688.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于控制制造过程的方法和关联设备是由J·S·威尔登伯格;H·A·迪伦;冯帆;R·范埃特森;W·L·范米罗;科恩·蒂斯设计研发完成，并于2021-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于控制制造过程的方法和关联设备在说明书摘要公布了：公开了一种用于控制在衬底上制造半导体器件的过程的方法和关联设备。所述方法包括：获得与所述过程相关的过程数据，以及基于所述过程数据和与所述衬底上的所述器件相关联的第一控制目标来确定所述过程的校正。所述第一控制目标可实现的第一概率被确定，并且所述校正基于所述概率和至少第二控制目标来调整，所述第二控制目标与所述第一控制目标相比具有可实现的第二概率。
本发明授权用于控制制造过程的方法和关联设备在权利要求书中公布了：1.一种用于控制在衬底上制造半导体器件的过程的方法，所述方法包括：获得与所述过程相关的过程数据；基于所述过程数据以及与所述衬底上的所述器件相关联的第一控制目标来确定所述过程的校正；确定所述第一控制目标能够实现的第一概率；以及基于所述第一概率和至少第二控制目标来调整所述校正，所述第二控制目标与所述第一控制目标相比具有能够实现的第二概率。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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