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龙图腾网恭喜罗伯特·博世有限公司申请的专利用于探测MEMS传感器元件的污物的方法和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113447057B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110325000.9，技术领域涉及：G01D18/00；该发明授权用于探测MEMS传感器元件的污物的方法和设备是由R·屈尔斯;F·施普林格;M·基特尔设计研发完成，并于2021-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于探测MEMS传感器元件的污物的方法和设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于探测微机电传感器元件的污物的方法，所述方法包括以下步骤：输出用于控制加热装置的加热控制信号，以便加热传感器元件；接收测量信号，所述测量信号代表借助被加热的传感器元件所测量的物理参量；基于所测量的物理参量来求取：传感器元件是具有污物还是无污物；输出结果信号，该结果信号代表结果，该结果表明传感器元件是具有污物还是无污物。本发明还涉及一种设备。

本发明授权用于探测MEMS传感器元件的污物的方法和设备在权利要求书中公布了：1.一种用于探测微机电传感器元件203、501的污物601、701的方法，所述方法包括以下步骤：-输出101用于控制加热装置205的加热控制信号，以便加热所述传感器元件203、501；-接收103测量信号，所述测量信号代表借助被加热的传感器元件203、501所测量的物理参量；-基于所测量的物理参量来求取105：所述传感器元件203、501是具有污物601、701还是无污物601、701；-输出107结果信号，所述结果信号代表结果，该结果表明所述传感器元件203、501是具有污物601、701还是无污物601、701，其中，接收参考信号，该参考信号代表参考物理参量，其中，所述参考物理参量和所述所测量的物理参量具有相同的物理单位，其中，基于所述参考物理参量求取：所述传感器元件203、501是具有污物601、701还是无污物601、701，其中，求取所述所测量的物理参量与所述参考物理参量的偏差，其中，基于所求取的偏差来求取：所述传感器元件203、501是具有污物601、701还是无污物601、701。

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