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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利紫外固化系统及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114156207B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111414144.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权紫外固化系统及其控制方法是由顾文亮设计研发完成，并于2021-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本紫外固化系统及其控制方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种紫外固化系统及其控制方法，紫外固化系统包括驱动机构、第一光源、第二光源、位置检测组件和控制装置；其中，驱动机构用于驱动第一光源和第二光源以至少一个单次旋转周期旋转；位置检测组件用于在第一光源和第二光源的一个单次旋转周期内获取至少两组对应不同位置的检测信号，并将检测信号传递给控制装置；控制装置用于根据检测信号获取驱动机构驱动第一光源和第二光源在一个单次旋转周期内旋转到对应位置的实际旋转参数，并在理论旋转参数与实际旋转参数满足校正条件时，根据实际旋转参数校正驱动机构在下一个单次旋转周期内的理论旋转参数。该方案能够解决晶圆的加工质量较差的问题。

本发明授权紫外固化系统及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种紫外固化系统，其特征在于，包括驱动机构（120）、第一光源（130）、第二光源（140）、位置检测组件和控制装置；其中，所述驱动机构（120）用于驱动所述第一光源（130）和所述第二光源（140）以至少一个单次旋转周期旋转；所述位置检测组件用于在所述第一光源（130）和所述第二光源（140）的一个所述单次旋转周期内先后获取至少两组对应不同位置的检测信号，并将所述检测信号传递给所述控制装置；所述控制装置用于根据所述检测信号获取所述驱动机构（120）驱动所述第一光源（130）和所述第二光源（140）在一个所述单次旋转周期内旋转到对应位置的实际旋转参数，并在理论旋转参数与所述实际旋转参数满足校正条件时，根据所述实际旋转参数校正所述驱动机构（120）在下一个单次旋转周期内的理论旋转参数。

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