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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利倒片装置、半导体工艺设备及开关门体的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114551313B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210181637.X，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权倒片装置、半导体工艺设备及开关门体的控制方法是由苏冠华;陈志兵;李旭刚;刘爱旭设计研发完成，并于2022-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本倒片装置、半导体工艺设备及开关门体的控制方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种倒片装置、半导体工艺设备及开关门体的控制方法，涉及半导体装备领域。一种倒片装置包括腔体、门体、驱动机构、运动轨道和阻尼机构；腔体设有开口；门体可翻转地设于开口处，门体与腔体转动连接；驱动机构可转动连接于腔体，驱动机构包括伺服驱动组件和第一连接件，第一连接件用于将伺服驱动组件与门体转动连接，伺服驱动组件通过第一连接件驱动门体相对于腔体翻转；阻尼机构连接门体与腔体，阻尼机构用于施加使门体向远离开口的方向翻转的阻力。一种半导体工艺设备，包括上述倒片装置。一种开关门体的控制方法，应用于上述半导体工艺设备。本申请至少能够解决翻转门无法平稳运动影响片盒中晶片位置精度的问题。

本发明授权倒片装置、半导体工艺设备及开关门体的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种倒片装置，应用于半导体工艺设备，其特征在于，包括：腔体100、门体200、驱动机构300、运动轨道和阻尼机构400；所述腔体100具有用于倒片的传输腔，所述腔体100开设有与所述传输腔连通的开口110；所述门体200可翻转地设置于所述开口110处，且所述门体200的靠近下端的区域与所述腔体100的两侧壁转动连接；所述驱动机构300可摆动地连接于所述腔体100的第一侧壁120外，所述驱动机构300包括伺服驱动组件310和第一连接件320，所述运动轨道用于使所述伺服驱动组件310的输出端沿所述运动轨道的轨迹移动，所述第一连接件320用于将所述伺服驱动组件310的输出端与所述门体200的靠近下端的区域转动连接，所述伺服驱动组件310通过所述第一连接件320驱动所述门体200相对于所述腔体100翻转，所述伺服驱动组件310对门体200的开关速度及位置进行精确控制；所述阻尼机构400连接所述门体200与所述腔体100，且所述阻尼机构400用于对所述门体200施加使所述门体200向远离所述开口的方向翻转的阻力。

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