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龙图腾网恭喜安徽国芯光刻技术有限公司申请的专利一种光刻机硅片台移动机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119511649B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510071812.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻机硅片台移动机构是由薛业保;章广飞;王运钢;李文静设计研发完成，并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻机硅片台移动机构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光刻机硅片台移动机构，涉及硅片加工技术领域，包括可沿着矩形路径往复移动的两组硅片载台，每组均由两个横向分布的硅片载台构成，四块硅片载台呈田字形排布，初始状态下，四块硅片载台中位于右上角的硅片载台正对于光刻机的加工工位。还包括有两个换料单元，初始状态下，两组硅片载台的其中一组位于加工路径上，另一组位于其中一条换料路径上。本发明运转的过程中，加工路径上的加工工位可不断对硅片载台内的硅片实施加工操作，换料路径可不断接收加工完成后的硅片载台，换料单元可同步对加工完成后的硅片载台实施换料操作。不影响加工操作的实施，可快速对多个硅片原料实施加工操作，提升了光刻机加工硅片的工作效率。

本发明授权一种光刻机硅片台移动机构在权利要求书中公布了：1.一种光刻机硅片台移动机构，其特征在于：包括可沿着矩形路径往复移动的两组硅片载台（2），每组均由两个横向分布的硅片载台（2）构成，四块硅片载台（2）呈田字形排布，初始状态下，四块硅片载台（2）中位于右上角的硅片载台（2）正对于光刻机的加工工位；还包括有两个换料单元，两个换料单元与加工工位形成两条由前至后分布的换料路径以及位于两条换料路径之间的一条加工路径，初始状态下，两组硅片载台（2）的其中一组位于加工路径上，另一组位于其中一条换料路径上；当两组硅片载台（2）同时沿着X轴方向运动时，加工工位可依次对其中一组硅片载台（2）实施光刻加工操作，换料单元可依次对另一组硅片载台（2）实施换料操作，当四个硅片载台（2）朝向Y轴移动时，两块换料操作完成的硅片载台（2）移动至加工路径上，两块加工完成的硅片载台（2）移动至位于另一条换料路径上，当四块硅片载台（2）沿着矩形路径往复移动时，四块硅片载台（2）上始终有两块硅片载台（2）位于加工路径上，另外两块硅片载台（2）位于换料路径上；所述换料单元均包括有呈L形的换料臂（7），所述换料臂（7）垂直分布的两条臂体上均设有吸盘（8），且换料臂（7）的两侧分别设有储存架（5）和换料架（6），所述换料臂（7）的其中一个臂体位于硅片载台（2）的正上方，另一臂体位于换料架（6）的正上方，当所述换料臂（7）转动时，两个吸盘（8）可将原本位于换料架（6）内部的硅片转移至硅片载台（2）内部，同时将硅片载台（2）内部的硅片转移至储存架（5）内部；所述换料单元还包括有设于换料臂（7）折弯位置的电动旋转座（71），所述电动旋转座（71）上设有位于换料臂（7）正下方的安装板，所述安装板上设有气缸（72），所述气缸（72）输出端的推杆与换料臂（7）相连，当换料臂（7）升、降运动时，位于硅片载台（2）和换料架（6）正上方的吸盘（8）同步运动，直至与硅片相接触。

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